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J-GLOBAL ID：201702260987231140   整理番号：17A1633908

マイクロ波共振器を用いた導電性ナノ材料の厚さとシート抵抗の現場試験【Powered by NICT】

In Situ Test of Thickness and Sheet Resistance of Conductive Nanomaterial Using Microwave Cavity

著者 (4件)： Ye Ming (School of Microelectronics, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China) ,  Wang Lu (School of Microelectronics, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China) ,  He Yongning (School of Microelectronics, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China) ,  Daneshmand Mojgan (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Alberta, Edmonton, AB, Canada)
資料名： IEEE Microwave and Wireless Components Letters  (IEEE Microwave and Wireless Components Letters)
巻： 27  号： 10  ページ： 942-944  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0099A  ISSN： 1531-1309  CODEN： IMWCBJ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラス基板上に堆積した導電性ナノ材料の厚さとシート抵抗はTE_011モード共振器法を用いて同時に測定した。測定は~10.8と~17.7GHzの共振周波数を持つ二キャビティ内で実行した。厚さとシート抵抗の測定誤差は10%以下で達することができた。既存の方法と比較して,提示した方法は,膜厚や伝導率に事前知識を必要としない,空洞の端板の一つとして膜を用いて,この方法は非接触であり,試料形状にほとんど要求事項を持っている。これらの利点は,提示した方法は,マイクロエレクトロニクス製造業におけるような金属膜特性を監視するその場に使用される可能性を持つことを示唆する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振周波数 ,  終板 ,  *導電性 ,  *シート抵抗 ,  金属薄膜 ,  *ナノ材料 ,  *共振器 ,  製造業 ,  測定誤差 ,  *現場試験 ,  膜厚 ,  マイクロエレクトロニクス
準シソーラス用語： 非接触 ,  ガラス基板 ,  *マイクロ波共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 導波管,同軸線路  (NC04040N) ,  マイクロ波・ミリ波通信  (ND08020W)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ波共振器 ,  導電性 ,  ナノ材料 ,  シート抵抗 ,  現場試験