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J-GLOBAL ID：201702261100823838   整理番号：17A0048776

導電性ZnOを用いた高速応答水素ガスセンサの研究開発

著者 (4件)： 山本哲也 (高知工科大 総合研) ,  野本淳一 (高知工科大 総合研) ,  牧野久雄 (高知工科大 総合研) ,  岸本誠一 (高知工高専)
資料名： エネルギーデバイス  (Energy Device)
巻： 3  号： 4  ページ： 70-76  発行年： 2016年04月28日 
JST資料番号： F1332A  ISSN： 2188-1383  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： H₂を安全に利用するインフラ整備の一環として,H₂センサを提示した。半導体式のセンサで,O₂の吸着特性について調べた。感ガス材としてZnO,50nmの薄膜を用い,H₂の吸着,吸収,酸化イオンとの化学反応でのキャリア生成,キャリア密度,キャリア輸送変化による電気抵抗変化を利用したセンサである。測定範囲は100ppm~1%である。動作温度は150°Cである。Oイオンが高濃度に内蔵されており,原理的には大気中のO₂を必要としない。センサは,H₂が膜内に十分,吸収される特性を生かしたものであり,表面吸着に関連する検知の寄与の度合いは少量である。

シソーラス用語： *気体 ,  *水素 ,  *センサ ,  *酸化亜鉛 ,  燃料電池 ,  吸着 ,  アニオン
準シソーラス用語： *ZnO ,  酸素イオン ,  *水素ガス ,  薄膜センサ

分類 (3件)： 燃料電池  (YB04040V) ,  気体燃料の性質,組成,分析,試験  (YE02020U) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

引用文献 (12件)：

• 安全工学協会編:安全工学便覧,コロナ社(1973)
• http://www.engineeringtoolbox.com/explosive-concentration-limits-d_423.html
• http://www1.eere.energy.gov/hydrogenandfuelcells/mypp/pdfs/safety.pdf
• 清山哲郎,山添曻:化学と工業,34,10(1981)
• H. Futata, Miniaturization of Catalytic Combustion Sensors, S. Yamauchi(ed.), Chemical Sensor Technology, 4, 85 (1992)

タイトルに関連する用語 (6件)： 導電性 ,  ZnO ,  高速応答 ,  水素ガス ,  研究 ,  開発