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J-GLOBAL ID：201702261185083621   整理番号：17A0385975

40μmのスポットサイズを持つ運搬可能な焦電電子プローブマイクロアナライザ

Portable pyroelectric electron probe microanalyzer with a spot size of 40 μm

著者 (2件)： Imashuku Susumu (Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan) ,  Wagatsuma Kazuaki (Institute for Materials Research, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 88  号： 2  ページ： 023117-023117-4  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 我々は,運搬可能な焦電電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)での電子ビームの,スポットサイズを低減する方法と,そのオンサイトマイクロ分析への利用を報告する。40μmの半値全幅のスポットサイズを持つ電子ビームを,EPMAでの焦電結晶上の針先端セットの側面での電場の生成を,先端の側面を絶縁材料で被覆して妨げることによって達成した。このスポットサイズは以前報告されたそれより約10倍小さかった。我々はシリコン基板上にスパッタした細い銅線の線走査輪郭を,運搬可能な焦電EPMAを使って取得できた。線走査輪郭から評価したスパッタした銅の幅(120μm)は,従来の静止走査電子顕微鏡-エネルギー分散X線分光法装置によって得た,線走査輪郭からのそれに一致した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *電子プローブX線分析 ,  *電子ビーム ,  長さ ,  集束 ,  焦電気 ,  電場 ,  絶縁材料 ,  絶縁体
準シソーラス用語： EPMA【表面分析】

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (2件)： スポットサイズ ,  運搬