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J-GLOBAL ID：201702261249700690   整理番号：17A0970276

超音波噴霧熱分解により堆積したCu添加SnO_2薄膜のガス検出特性と感度促進機構【Powered by NICT】

Gas-sensing properties and sensitivity promoting mechanism of Cu-added SnO₂ thin films deposited by ultrasonic spray pyrolysis

著者 (6件)： Liu Jianqiao (College of Information Science and Technology, Dalian Maritime University, Linghai Road 1, Ganjingzi District, Dalian 116026, Liaoning, PR China) ,  Lu Yiting (College of Information Science and Technology, Dalian Maritime University, Linghai Road 1, Ganjingzi District, Dalian 116026, Liaoning, PR China) ,  Cui Xiao (College of Information Science and Technology, Dalian Maritime University, Linghai Road 1, Ganjingzi District, Dalian 116026, Liaoning, PR China) ,  Geng Yuncong (School of Computer Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 611731, Sichuan, PR China) ,  Jin Guohua (College of Information Science and Technology, Dalian Maritime University, Linghai Road 1, Ganjingzi District, Dalian 116026, Liaoning, PR China) ,  Zhai Zhaoxia (College of Information Science and Technology, Dalian Maritime University, Linghai Road 1, Ganjingzi District, Dalian 116026, Liaoning, PR China)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 248  ページ： 862-867  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガスセンサのためのすず酸化物ベース薄膜を超音波噴霧熱分解技術により堆積した。薄膜は多孔質でH_2Sガスへの高速応答とから構成されているナノサイズ微結晶。センサ性能をCu添加,0 1のCu/Sn比で取り込まれたにより増強されることが観察された。ガス検出特性に及ぼすCuドーピング量の影響を議論した。各薄膜センサのためのべき乗則指数nの値はセンサの感度,これはCu添加により促進されたを議論するために計算した。CuドープSnO_2薄膜の感度を決定するための原因であることが分かった二つの機構。一つはSnO_2粒の既知の受容体機能であり,もう一つはH_2S検出におけるCuOおよびCuSの間の変換による促進機構である。前者は温度依存感度,異なる動作温度で粒子表面に種々のタイプの吸着酸素に起因することを産生する。後者は現在の評価に従って促進感度をもたらした。種々のCu/Sn比を持つ薄膜センサへの各機構の寄与を検討した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ガスセンサ ,  微結晶 ,  *超音波 ,  吸着 ,  酸化スズ ,  センサ ,  酸素 ,  多孔性 ,  温度依存性 ,  *銅 ,  *薄膜 ,  硫化水素 ,  ドーピング
準シソーラス用語： 薄膜センサ ,  *噴霧熱分解法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： すず酸化物薄膜 ,  ガスセンサ ,  銅 ,  硫化水素 ,  Sensitivity

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超音波噴霧 ,  熱分解 ,  堆積 ,  Cu ,  薄膜 ,  感度 ,  促進