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J-GLOBAL ID：201702261633027986   整理番号：17A1187304

形状寸法と運転モードの影響を受けたマイクロカンチレバーの密度測定感度【Powered by NICT】

Density measurement sensitivity of micro-cantilevers influenced by shape dimensions and operation modes

著者 (7件)： Zhao Libo (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shannxi, China) ,  Hu Yingjie (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shannxi, China) ,  Hebibul Rahman (School of Automotive, Mechanical and Electrical Engineering, Xinjiang Vocational & Technical College of Communications, Urumqi 831401, Xinjiang, China) ,  Xia Yong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shannxi, China) ,  Huang Linya (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shannxi, China) ,  Zhao Yulong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shannxi, China) ,  Jiang Zhuangde (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, International Joint Laboratory for Micro/Nano Manufacturing and Measurement Technologies, Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shannxi, China)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 245  ページ： 574-582  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 結合流体-固体シミュレーションは,異なる形状,寸法と動作モードを持つ共鳴マイクロカンチレバーの密度測定感度(DMS)を解析するために開発した。解析公式を共振周波数シフトと作動流体の密度の関係を説明するために確立した。結合流体-固体シミュレーションを解析し,実験結果は,曲げとねじりのモード下でのDMSに対する種々の寸法のマイクロカンチレバーの影響を研究するために用いた。DMS上に異なる形状をもつマイクロカンチレバーの影響についても検討し,解析した。マイクロカンチレバーならびに運転モードの長さと自由端幅は,DMSに影響する鍵となる因子であると結論した。加えて,提案した結合流体-固体シミュレーション法はマイクロカンチレバー設計の側面において重要な指導である。最後に,センサの共振周波数安定性と分解能を分析して,センサの性能をより良く理解した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 分解能 ,  共振周波数 ,  センサ ,  *形態 ,  共振 ,  シミュレーション ,  ねじり ,  *運転モード ,  周波数安定度 ,  共鳴
準シソーラス用語： 自由端 ,  作動流体 ,  *密度測定 ,  *マイクロカンチレバー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 結合流体-固体シミュレーション ,  マイクロカンチレバー ,  密度 ,  Sensitivity ,  動作モード

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 形状寸法 ,  マイクロカンチレバー ,  密度 ,  測定感度