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J-GLOBAL ID:201702261637241559   整理番号:17A1545208

厚さコントラストを持つ一次元Siナノリボンの機械的座屈に関する実験的研究【Powered by NICT】

Experimental investigation on the mechanical buckling of one-dimensional Si nanoribbons with a thickness contrast
著者 (3件):
資料名:
巻: 640  ページ: 33-37  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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厚さコントラストを持つ一次元Siナノリボンの機械的座屈を検討した。小厚さの差を持つSiストライプでは,各断面は特徴的な波長と波振幅とそれ自身の座屈を受けることを見いだし,それらの厚さに依存していた。一方,大きな厚さの差によるSiリボンで生じた異常な座屈。この場合,薄く断面が均一に座屈したし,外部印加歪の大部分を吸収した。これに反して,リボンの厚い部品,すなわち中心領域のみで発生した座屈,不均一に座屈した厚い部品の両端にほとんど平坦な配置であった。座屈力学は小さな厚さのコントラストを持つSiリボンの観察された座屈を定性的に説明できるが,有限長さの影響は,大きな厚さのコントラストを持つSiリボンの場合に考慮すべきである。実機能素子は厚さが均一でないという事実を考慮して,本研究では,広い範囲の厚さコントラストの機械系の連成座屈挙動を理解するのに役立つ。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (4件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  金属薄膜  ,  半導体薄膜  ,  酸化物薄膜 
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