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J-GLOBAL ID:201702261811338562   整理番号:17A0504445

Al/ZnS-PVA/p-Si(MPS)構造における周波数の関数としての電気的誘電的パラメータ依存性の決定

Determining electrical and dielectric parameters of dependence as function of frequencies in Al/ZnS-PVA/p-Si (MPS) structures
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巻: 28  号:ページ: 1315-1321  発行年: 2017年01月 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Al/ZnS-PVA/p-Si構造の電気的誘電的パラメータの周波数および電圧依存性を300Kで調べた。10kHz~5MHZの範囲でキャパシタンス/コンダクタンス-電圧(C/G-V)測定を行うと,電気的誘電的パラメータは周波数と電圧に強く依存し,特に直列抵抗(Rs),表面準位(Nss),分極プロセスに影響される。RsとNssは周波数増加でほとんど指数関数的に減少する。誘電率の実と虚部(ε’とε”),損失正接(tanδ),ac電気伝導度を印加電圧の関数としてのCとG/ωデータを使って求め,周波数の強い関数であることが判明した。これらパラメータの変化は低周波で,特に空乏蓄と積領域でより顕著である。結果として,ε’,ε”,tanδ,ac電気伝導度の変化は外部電界や界面分極の下でのZnS-PVA/p-Si界面における電荷の再構成と再整列の結果である。
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固体デバイス材料 
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