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J-GLOBAL ID:201702262044259555   整理番号:17A1488771

仮想ピボットアラインメント法とその影響ボンネット研磨における形状誤差【Powered by NICT】

Virtual pivot alignment method and its influence to profile error in bonnet polishing
著者 (3件):
資料名:
巻: 122  ページ: 18-31  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0568A  ISSN: 0890-6955  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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本稿では,R検定を用いた仮想ピボット誤差の測定と調整手順を提案し,ボンネット研磨における表面プロファイルに仮想ピボット誤差の影響を調べた。最初に,運動学的モデリングは,回転軸の位置誤差を記述し,仮想ピボットアームの全体誤差を定義するために行った。R-試験は,仮想ピボット点に位置する球の三次元変位を測定し,位置誤差を同定するために導入される。仮想ピボット誤差のための調整手順を,数学的解析を用いて開発した。測定と調整アプローチは,超精密研磨機,調整実験は,提案した方法を検証するために行ったに適用した。これに基づいて,凹レンズに対照的な研磨実験は良好な溶媒と貧弱な仮想ピボット誤差の下で行った。実験結果は,仮想誤差の良好な整列が達成されたとき,研磨した表面プロフィルの最大形状偏差は241.0nmから89.6nmに低減されることを示した。ボンネット研磨工具と機械の材料除去モデルに基づく解析的シミュレーションは研磨品質への仮想ピボット誤差の影響を明らかにするために実行した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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フライス加工  ,  切削一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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