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J-GLOBAL ID：201702262076760925   整理番号：17A0826552

統合低温共焼成セラミック系Clark型酸素センサ【Powered by NICT】

An Integrated Low Temperature Co-Fired Ceramic-Based Clark-Type Oxygen Sensor

著者 (2件)： Luo Jin (State Key Laboratory of New Ceramics and Fine Processing, School of Materials Science and Engineering, Tsinghua University, Beijing, China) ,  Eitel Richard (Department of Chemical Engineering and Materials Science, Stevens Institute of Technology, Hoboken, NJ, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 17  号： 6  ページ： 1590-1595  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低温共焼成セラミック(LTCC)電子部品実装材料はそれらの機械的耐久性,低コスト,層状製造の柔軟性,および単一LTCCモジュールにおける電子とマイクロ流体の両方の機能を統合する能力の利点のために適用した。Clark型酸素センサは,生物学的応用における酸素溶解センシングのための広く使用されている電気化学装置である。本論文では,Clark型酸素センサは,従来のシリコン/ガラスマイクロマシニングの代わりにLTCC厚膜技術を用いて開発し,三電極(作用電極,対極,およびAg/AgCl参照電極),ポリジメチルシロキサン(PDMS)酸素透過膜とPDMSリザーバとLTCC基板で構成されていた。作製したAg/AgCl参照電極は長期安定性をもつ高い密度を示した。サイクリックボルタンメトリーとクロノアンペロメトリーをLTCCベースのClark型酸素センサの電気化学的性質を評価するために測定した。還元電流は酸素濃度と直線関係にあった。一方,LTCCベースのClark型酸素センサは文献と比較して,低い残留電流,<5%,高速応答時間7.5sを含む比較性能を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *酸素 ,  クロノアンペロメトリー ,  電流 ,  溶解 ,  *酸素センサ ,  柔軟性 ,  基準電極 ,  サイクリックボルタンメトリー ,  厚膜技術 ,  耐久性 ,  電気化学的特性 ,  長期安定性 ,  作用電極 ,  *センサ
準シソーラス用語： 対極 ,  電気化学デバイス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 統合 ,  低温共焼成セラミック ,  酸素センサ