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J-GLOBAL ID：201702262237147588   整理番号：17A1048202

2の新しい銀β-ジケトナト付加物有機金属前駆体を用いたエーロゾル支援MOCVDによる金属銀被覆層の堆積【Powered by NICT】

Deposition of metallic silver coatings by Aerosol Assisted MOCVD using two new silver β-diketonate adduct metalorganic precursors

著者 (8件)： Liu H. (Univ. Grenoble Alpes, CNRS, Grenoble INP, LMGP, F-38000 Grenoble, France. [e-mail]) ,  Battiato S. ,  Pellegrino A. L. ,  Paoli P. ,  Rossi P. ,  Jimenez C. ,  Malandrino G. ,  Munoz-Rojas D.
資料名： Dalton Transactions  (Dalton Transactions)
巻： 46  号： 33  ページ： 10986-10995  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0270A  ISSN： 1477-9226  CODEN： DTARAF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,Ag金属被覆の化学蒸着のための二つの新しい銀有機金属前駆体を報告した。両前駆体はβ-ジケトナト付加物,すなわち,Ag(hfac)(L)(Hhfac=1,1,1,5,5,5-ヘキサフルオロ-2,4-ペンタンジオン)に基づいている,Lは1,10 フェナントロリン(phen)または2,5,8,11-テトラオキサドデカン(トリグリム)である。これら配位子を用いて,設計された前駆体はアルコール溶媒中で良好な溶解性を有し,以前に報告されたものよりも毒性で高価であった。新しい前駆体を特性化し,それらの結晶構造を解いた。新しいトリグリム前駆体,[Ag(トリグリム)2] +[Ag(hfac)2] -を用いて,直径約20nmのAgナノ粒子から成る純粋な金属Ag被覆はエーロゾル支援有機金属CVD(AA CVD)を用いてガラスおよびSi基板上に堆積することに成功した。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ジケトン ,  *銀錯体 ,  付加物 ,  *MOCVD ,  *被覆層 ,  結晶構造 ,  ナノ粒子 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  ウエハ【IC】 ,  エアロゾル ,  蒸着 ,  *銀 ,  脂肪族ケトン ,  脂肪族フッ素化合物
準シソーラス用語： エアロゾル析出法 ,  ガラス基板 ,  ケイ素基板 ,  銀ナノ粒子

分類 (2件)： 第11族,第12族元素の錯体  (CE01050Y) ,  金属薄膜  (BK14030T)

物質索引 (2件)： トリグリム ,  ヘキサフルオロ-2,4-ペンタンジオン

タイトルに関連する用語 (10件)： 銀 ,  付加物 ,  有機金属 ,  前駆体 ,  エーロゾル ,  支援 ,  MOCVD ,  金属銀 ,  被覆層 ,  堆積