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J-GLOBAL ID：201702262249503689   整理番号：17A0066132

走査型電子顕微鏡測定システムの研究【JST・京大機械翻訳】

Study on the Measuring and Control System of Metrological Scanning Electron Microscope

著者 (6件)： Zhang Ruijun (Zhejiang Sci-Tech University) ,  Gao Sitian (National Institute of Metrology) ,  Li Wei (National Institute of Metrology) ,  Chen Benyong (Zhejiang Sci-Tech University) ,  Shi Yushu (National Institute of Metrology) ,  Li Qi (National Institute of Metrology)
資料名： Jiliang Xuebao  (Jiliang Xuebao)
巻： 37  号： 5  ページ： 457-461  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2540A  ISSN： 1000-1158  CODEN： JIXUEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 走査電子顕微鏡(SEM)による100NM以下の微細構造の寸法測定の欠点を解決するため、SEM測定値の値の伝達とトレーサビリティを実現し、計量型のSEM測定・測定システムを開発した。このシステムは主に変位台の運動制御モジュール、レーザー干渉変位測定モジュールと画像収集と処理モジュールから構成され、LABVIEWグラフィックプログラミング言語に基づいて、測定システムのソフトウェアを開発した。1ΜM×1ΜMの二次元格子サンプルのサイズ測定実験を行い,結果は,この計測システムが安定で信頼できることを示し,10ΜMの測定範囲内の測定誤差は10NMよりも優れていた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *計測システム ,  測定誤差 ,  運動制御 ,  プログラミング言語 ,  微細構造 ,  変位測定 ,  ソフトウェア ,  *走査電子顕微鏡 ,  トレーサビリティ
準シソーラス用語： レーザ干渉 ,  寸法測定 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： metrology ,  metrological SEM ,  quantity traceability ,  motion control module ,  laser heterodyne interferometry ,  image acquisition and processing ,  LabVIEW

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査型電子顕微鏡 ,  測定システム ,  研究