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J-GLOBAL ID：201702262395070513   整理番号：17A1720861

フレキシブル有機基板上に集積した高周波磁気薄膜インダクタ【Powered by NICT】

High-Frequency Magnetic Thin-Film Inductor Integrated on Flexible Organic Substrates

著者 (4件)： Wu Hao (Ferric Inc., New York, NY, USA) ,  Khdour Mahmoud (Ira A. Fulton Schools of Engineering, Arizona State University, Tempe, AZ, USA) ,  Apsangi Priyanka (Ira A. Fulton Schools of Engineering, Arizona State University, Tempe, AZ, USA) ,  Yu Hongbin (Ira A. Fulton Schools of Engineering, Arizona State University, Tempe, AZ, USA)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 53  号： 11  ページ： ROMBUNNO.2004507.1-7  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MHz-GHz応用のための柔軟な有機基板上にZr-Ta-B(CZTB)薄膜を用いた集積インダクタを提案した。本論文では,柔軟な有機基板上の磁性薄膜インダクタの作製と特性評価,ポリイミドと味の素ビルドアップ膜薄膜などを示した。これらの膜はわずか十μmの厚さを持つ,剛体基板上に作製した同じインダクタ構造と比較し非常に柔軟な,石英のような。フレキシブル基板上の磁性薄膜は,Si基板上のものと比較して,が基板表面の粗さの増加によると思われる大きな保磁力と同様の磁気的性質を維持することが観察された。RF特性により測定されたインダクタンスLを持つ有機基板上に作製した薄膜インダクタは空心インダクタ(磁心材料なし)に比べてインダクタンスの有意増加を示した。高周波数応答,明確にGHz,材料のCZTB型と一致を示した。インダクタンスとQ値と同様に,周波数応答は,大幅に曲げ,柔軟な有機基板上にインダクタのロバスト性を示し,磁性薄膜の多くの反復後でも同じであった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ポリイミド ,  ロバスト性 ,  *薄膜 ,  磁心 ,  キャラクタリゼーション ,  保磁力 ,  周波数応答 ,  *薄膜インダクタ ,  *HF【周波数】 ,  Q値 ,  磁性 ,  インダクタンス ,  磁性薄膜
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *有機基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 有機基板 ,  集積 ,  高周波 ,  磁気 ,  薄膜インダクタ