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J-GLOBAL ID：201702262552346043   整理番号：17A0172829

デバイスの出力に及ぼす静電容量加速度センサの等価並列抵抗の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Analysis of the Effect of the Equivalent Parallel Resistor of theComb Capacitive Accelerometer

著者 (5件)： Qu Hao (Department of Mechatronics Engineering,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Peng Bei (Department of Mechatronics Engineering,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Zeng Jian (Department of Mechatronics Engineering,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Zhou Wu (Department of Mechatronics Engineering,University of Electronic Science and Technology of China) ,  Yu Huijun (Department of Mechatronics Engineering,University of Electronic Science and Technology of China)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 29  号： 10  ページ： 1483-1485  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 静電容量加速度センサの検出容量の測定結果は,誘導キャパシタンスを除く他の等価回路パラメータの影響を受ける。静電容量加速度センサの構造は多層の静電容量(MLCC)の構造と類似しているため、多層静電容量における等価回路パラメータの研究方法を参考にして、静電容量加速度センサにおける等価回路パラメータを研究することができる。本文では、静電容量加速度センサーの検出構造における等価回路パラメータをモデル化し、これらの等価回路パラメータが試験結果に与える影響を分析した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： モデリング ,  等価回路 ,  多層 ,  *静電容量 ,  *加速度センサ
準シソーラス用語： 積層セラミックコンデンサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS ,  comb capacitive accelerometer ,  pspice circuit simulation ,  charge amplify circuit ,  equivalent parallel resistor

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 静電容量 ,  加速度センサ ,  等価 ,  研究