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J-GLOBAL ID：201702262563806338   整理番号：17A0634874

不可逆書込過程による溶融シリカにおけるフェムト秒レーザ誘起構造差

Femtosecond laser-induced structural difference in fused silica with a non-reciprocal writing process

著者 (6件)： SONG Hui (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  DAI Ye (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  SONG Juan (Jiangsu Univ., Zhenjiang, CHN) ,  MA Hongliang (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  YAN Xiaona (Shanghai Univ., Shanghai, CHN) ,  MA Guohong (Shanghai Univ., Shanghai, CHN)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 123  号： 4  ページ： 255,1-6  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束フェムト秒レーザパルスにより溶融シリカに書込を行う場合,レーザのパルス波面傾斜(PFT)に起因して走査方向により異なる微細構造が現れることが知られている。この不可逆書込過程の特性と機構を調べた。顕微鏡により書込線の断面像を調べ,以下の結果を得た。1)+x及び-x方向の書込線の深さ方向長さが異なる。これは複屈折強度差をもたらす。2)不可逆書込効果はパルス幅が増大すると常に現れる。3)x方向書込線の頂部には分岐が現れるが,y方向書込線には現れない。レーザ強度分布の数値解析と実験結果の比較から,x方向で振舞うPFTがX方向のGauss強度分布を変形するため分岐が生ずるが,y方向ではこの効果がないため分岐が見られないと結論した。これらの結果はPFTがパルスの時間空間特性を変える1つの自由度として利用可能なことを示唆する。

シソーラス用語： *フェムト秒レーザ ,  *レーザ加工 ,  *石英ガラス ,  *不可逆過程 ,  依存性 ,  波面 ,  複屈折 ,  顕微鏡観察 ,  パルス幅 ,  微細構造 ,  *マイクロマシニング ,  *レーザリソグラフィー ,  レーザパルス ,  *フェムト秒
準シソーラス用語： 溶融シリカ ,  方向依存性 ,  *レーザ直接描画

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 不可逆 ,  書込 ,  過程 ,  溶融シリカ ,  フェムト秒レーザ ,  誘起