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J-GLOBAL ID：201702262671551711   整理番号：17A0764250

マスフロー千夜一夜物語 第36回〈質量流量計の基礎〉

著者 (1件)： 黒田誠 (EZ-Japan)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 45  号： 8  ページ： 45-51  発行年： 2017年07月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本文では,質量流量計の基礎として,マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングを解説した。まず,MFCの制御不良を説明し,制御不良を紹介した。ついで,MFCが流量制御できていない場合について説明した。つづいて,MFCの制御流量の検証例として,MFCの実流量異常のケースについて検討し,原因の追究・対処法を説明した。最後に,トラブルシューティングの重要性を述べた。

シソーラス用語： 保全 ,  *故障解析 ,  流量制御 ,  設備管理 ,  *質量流量 ,  *流量計 ,  制御装置
準シソーラス用語： トラブルシューティング ,  マスフローコントローラ

分類 (3件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  信頼性  (KB04040H) ,  設備管理  (KB02020X)

タイトルに関連する用語 (4件)： マスフロー ,  物語 ,  質量流量計 ,  基礎