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J-GLOBAL ID：201702262840011742   整理番号：17A1356884

シミュレーションを用いたA FM接触モード力キャリブレーションの研究【Powered by NICT】

Investigation of the AFM contact-mode force calibration with simulation

著者 (2件)： Kaman Judit (Department of Electronics Technology, Budapest University of Technology and Economics, Budapest, Hungary) ,  Bonyar Attila (Department of Electronics Technology, Budapest University of Technology and Economics, Budapest, Hungary)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ISSE  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(A FM)で測定した力曲線は試料の局所Young率を決定するために頻繁に使用される。本来A FM(原子間力顕微鏡)装置は,電圧信号としてカンチレバーたわみを測定がたわみの自然単位であるナノメータ。一般に,nm変換因子は,硬い試料のカーブから決定した。この変換はYoung率の値に大きく影響するので,この方法の精度を実験的に,カンチレバー運動の有限要素シミュレーションを用いて調べた。,レーザスポットの位置は変換係数を変化させ,急峻な表面を持つ試料の場合には,この較正法の誤差は顕著であることが分かった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： Young率 ,  電圧 ,  *片持梁 ,  原子間力顕微鏡 ,  たわみ
準シソーラス用語： 有限要素シミュレーション ,  ナノメータ ,  *コンタクトモード , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： シミュレーション ,  Fm ,  接触モード ,  キャリブレーション ,  研究