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J-GLOBAL ID：201702262937380198   整理番号：17A1712571

超高感度を持つ柔軟で透明なマイクロ圧力センサのための単層カーボンナノチューブを用いたピラミッド微細構造【Powered by NICT】

Pyramid microstructure with single walled carbon nanotubes for flexible and transparent micro-pressure sensor with ultra-high sensitivity

著者 (10件)： Huang Zhenlong (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Gao Min (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Gao Min (Center for Information in Medicine, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Yan Zhuocheng (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Pan Taisong (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Khan Saeed Ahmed (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Zhang Yin (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Zhang Hulin (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Lin Yuan (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Lin Yuan (Center for Information in Medicine, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 266  ページ： 345-351  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不均一分散単層カーボンナノチューブ(SWCNT)ネットワークで被覆されたよく設計されたPDMSピラミッド微細構造を用いて,超高感度,透明性と柔軟性を持つマイクロ圧力センサの種類を示した。低伝導率tip/high伝導体の電気的構造は,8655.6kPa~( 1)の超高感度をもたらした。構造と材料へのセンサの独創的な設計は非常に低い除荷電流(0.88nA)を可能にし,デバイスを駆動する超低電力を示唆した。さらに,デバイスは高速応答時間(4ms以下),低圧力検出限界(7.3Pa以下)と長期耐用年数(10000サイクル以上試験)を持っていた。すべてのこれらの特徴はセンサ電子皮膚と健康管理への応用のための理想的な候補とする。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電流 ,  健康管理 ,  *圧力センサ ,  *単層カーボンナノチューブ ,  検出限界 ,  ポリジメチルシロキサン ,  導体 ,  *センサ ,  柔軟性 ,  低圧 ,  *角錐 ,  *微細構造
準シソーラス用語： 電子皮膚 ,  透明性 ,  *超高感度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： サンドイッチ複合構造 ,  カーボンナノチューブ ,  圧力センサ ,  フレキシブル装置

分類 (3件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高感度 ,  圧力センサ ,  単層カーボンナノチューブ ,  ピラミッド ,  微細構造