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J-GLOBAL ID：201702263248241356   整理番号：17A1810385

集束イオンビーム加工シリコンナノワイヤの機械的特性の比較

Comparison of mechanical characteristics of focused ion beam fabricated silicon nanowires

著者 (6件)： INA Ginnosuke (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  FUJII Tatsuya (Akita Prefectural Univ., Akita, JPN) ,  KOZEKI Takahiro (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  MIURA Eri (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  INOUE Shozo (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  NAMAZU Takahiro (Aichi Inst. of Technol., Aichi, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 6S1  ページ： 06GN17.1-06GN17.6  発行年： 2017年06月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 集束イオンビーム ,  *ナノワイヤ ,  *機械的性質 ,  損害 ,  サンプルの大きさ ,  引張試験 ,  MEMS ,  Young率 ,  結晶度 ,  走査電子顕微鏡 ,  破壊強さ
準シソーラス用語： *シリコンナノワイヤ

分類 (2件)： その他の紡糸・製糸  (YM03050G) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 集束イオンビーム ,  シリコンナノワイヤ ,  機械的特性