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J-GLOBAL ID：201702263396377038   整理番号：17A1016396

低・中真空領域での排気方程式の検討

著者 (3件)： 横川敬一 (大阪市大 大学院) ,  瀬戸康平 (大阪市大 大学院) ,  福田常男 (大阪市大 大学院)
資料名： 表面科学学術講演会講演要旨集  (表面科学学術講演会要旨集)
巻： 37th  ページ： 135  発行年： 2017年08月17日 
JST資料番号： L1366A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 中真空 ,  速度 ,  *排気 ,  *コンダクタンス ,  圧力効果 ,  *真空容器 ,  時間依存性 ,  排気速度 ,  *行為
準シソーラス用語： 圧力依存性 ,  *真空チェンバ

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 中真空 ,  排気 ,  方程式