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J-GLOBAL ID：201702263396803200   整理番号：17A1548710

熱クロストークを考慮した熱膜センサアレイのセンシング要素空間設計【Powered by NICT】

Sensing elements space design of hot-film sensor array considering thermal crosstalk

著者 (6件)： Sun Baoyun (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi 710072, China) ,  Ma Binghe (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi 710072, China) ,  Luo Jian (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi 710072, China) ,  Li Boyuan (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi 710072, China) ,  Jiang Chengyu (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi 710072, China) ,  Deng Jinjun (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi 710072, China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 265  ページ： 217-223  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS技術を用いて,ポリマ基板上に作製した屈曲性熱膜センサアレイは,流体力学の応用における流れの剥離と遷移を研究し,制御するための大きな重要性を持っている。これらのセンサの原理は,流体へのセンシング要素からの対流熱移動である。しかし,強制対流を通る流体に散逸熱は下流センシング要素に熱的クロストークを持つせることが可能である。この理由のために,二つの隣接するセンシング要素間の最適空間は,センサアレイ設計において考慮する必要がある。本論文では,FEM(有限要素法)シミュレーションをセンシング要素の近傍の対応する温度分布を推定するために行った。種々のせん断応力とセンシング要素の作動温度を持つアレイの二つの隣接したセンシング素子間の最小非熱的クロストーク空間を得た。さらに,センサアレイにおける熱クロストークを研究するために行った両風洞・水槽実験と,実験結果はシミュレーション結果と一致した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： シミュレーション ,  流体力学 ,  水槽試験 ,  伝熱 ,  MEMS ,  温度分布 ,  *クロストーク ,  強制対流 ,  重合体 ,  剪断応力 ,  *センサ ,  *センサアレイ ,  有限要素法 ,  屈曲度 ,  風洞

著者キーワード (5件)： ホットフィルムセンサアレイ ,  センシング要素空間 ,  シミュレーション ,  風洞実験 ,  水トンネル実験

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (6件)： クロストーク ,  膜センサ ,  アレイ ,  センシング ,  要素 ,  空間設計