Zhu Yonghang について
Laboratory for Photovoltaic, Department of Micro-Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University について
Liu Yijian について
Laboratory for Photovoltaic, Department of Micro-Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University について
Huang Xia について
Laboratory for Photovoltaic, Department of Micro-Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University について
Huang Huiliang について
Laboratory for Photovoltaic, Department of Micro-Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University について
Weidianzixue について
最適化 について
非晶質 について
水素 について
薄膜 について
プラズマCVD について
微細構造 について
プロセスパラメータ について
光学的性質 について
水素化 について
RF出力 について
実験条件 について
ガス流量 について
シリコン薄膜 について
a-Si:H thin film について
Indirect RF plasma について
Microstructure について
H content について
H_2/SiH_4 gas flow ratio について
Procedure power について
Procedure pressure について
半導体薄膜 について
水素化 について
非晶質 について
シリコン薄膜 について
調製 について
プロセスパラメータ について
最適化 について