Si結晶中のFe不純物と格子欠陥の間の相関を研究するためのMoessbauer分光学的顕微鏡の新しい装置【Powered by NICT】

Ino Yuji; Watanabe Tomio; Hayakawa Kazuo; Yukihira Kenichi; Matsumuro Kazuaki; Fujita Hirotaka; Ogai Keiko; Moriguchi Koichi; Harada Yoshihito; Soejima Hiroyoshi; Yoshida Yutaka

文献

J-GLOBAL ID：201702263743889256 整理番号：17A1020045

Si結晶中のFe不純物と格子欠陥の間の相関を研究するためのMoessbauer分光学的顕微鏡の新しい装置【Powered by NICT】

A new set-up of Mossbauer Spectroscopic Microscope to study the correlation between Fe impurities and lattice defects in Si crystals

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著者 (11件)：

Ino Yuji

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(Shizuoka Institute of Science and Technology, 437-8555, Toyosawa 2200-2, Fukuroi, Shizuoka, Japan)

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Watanabe Tomio

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Yukihira Kenichi

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Harada Yoshihito

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Soejima Hiroyoshi

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資料名：

Journal of Crystal Growth (Journal of Crystal Growth)

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巻： 468 ページ： 489-492 発行年： 2017年
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

抄録/ポイント：

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「Moessbauer分光顕微鏡(MSM)」の新しい装置は単結晶Si中のFeの拡散ではなく,Fe不純物の間の相関と多結晶(mc )Si中の格子欠陥を研究するために適用した。置換Fe_s~0と間質Fe_i~0成分に加えて,mc-SiのMoessbauerスペクトルは「Fe_i欠陥会合」に配分された新しい成分を含んでいた。全ての三成分は不均一に分布し,欠陥分布と相関するように見えた。これらの結果は,単結晶Siウエハのそれとは明らかに異なっていた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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