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J-GLOBAL ID：201702263816631260   整理番号：17A0550117

サブHz周波数対称性と温度ロバスト性を備えた規格統合MEMSジャイロスコープ

Rate Integrated MEMS Gyroscope with sub-Hz Frequency Symmetry and Temperature Robustness

著者 (5件)： GINER Joan (Hitachi R&D Group) ,  ZHANG Yuhua (Hitachi R&D Group) ,  ONO Kazuo (Hitachi R&D Group) ,  MAEDA Daisuke (Hitachi R&D Group) ,  SEKIGUCHI Tomonori (Hitachi R&D Group)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.16p-303-5  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ジャイロスコープ ,  *MEMS ,  周波数 ,  *対称性 ,  温度 ,  ロバスト性 ,  SOI構造 ,  有限要素法 ,  共振器 ,  増幅器
準シソーラス用語： ロックイン増幅器

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： サブ ,  対称性 ,  ロバスト性 ,  規格 ,  統合 ,  MEMSジャイロスコープ