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J-GLOBAL ID:201702264029704153   整理番号:17A1374568

大面積電子ビーム照射における凸形状変化の数値解析的予測に関する研究

著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: 秋季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.B13  発行年: 2017年09月05日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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凸形状を有した工作物に対して大面積電子ビームを照射すると凸部先端が丸みを帯びる現象が生じる。これは凸部先端での電子集中および熱拡散のしにくさが原因であると考えられる。本研究では凸部先端への電子集中現象の解明を電子軌道解析により検討した。また,電子集中現象を考慮した非定常熱伝導解析により形状変化予測を試みた。解析値と実験値を比較した結果,凸形状の除去厚さ変化を高精度に予測できることが明らかとなった。(著者抄録)
シソーラス用語:
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