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J-GLOBAL ID：201702264087698098   整理番号：17A0970280

In_2O_3に基づくガスセンサの最適化された電気的性質に対するナノ柱状構造を調整するための汎用アプローチ【Powered by NICT】

Versatile approaches to tune a nanocolumnar structure for optimized electrical properties of In₂O₃ based gas sensor

著者 (14件)： Han Soo Deok (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Han Soo Deok (KU-KIST Graduate School of Converging Science and Technology, Korea University, Seoul, 02841, Republic of Korea) ,  Noh Myoung-Sub (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Noh Myoung-Sub (KU-KIST Graduate School of Converging Science and Technology, Korea University, Seoul, 02841, Republic of Korea) ,  Kim Sangtae (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Shim Young-Seok (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Song Young Geuon (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Lee Kwangjae (Contents Convergence Research Center, Korea Electronics Technology Institute (KETI), Seoul, 03924, Republic of Korea) ,  Lee Hae Ryung (Smart Game Platform Research Section, SW Content Research Laboratory, Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI), Daejeon, 34129, Republic of Korea) ,  Nahm Sahn (KU-KIST Graduate School of Converging Science and Technology, Korea University, Seoul, 02841, Republic of Korea) ,  Yoon Seok-Jin (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Kim Jin-Sang (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Kang Chong-Yun (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Kang Chong-Yun (KU-KIST Graduate School of Converging Science and Technology, Korea University, Seoul, 02841, Republic of Korea)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 248  ページ： 894-901  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,電気的性質の同調と電子ビーム蒸発器によるすれすれ角(GLAD)蒸着条件を変えてIn_2O_3ナノ柱状構造のセンシング応答を実証した。変化させた蒸着条件を,視射角,真空レベルと堆積速度を含んでいる。ベース抵抗により示し,In_2O_3ナノ構造薄膜の電気的性質はナノ柱状構造と酸素空孔濃度の空隙率に依存する110Ω103104Ωから3桁の大きさまでを変化させた。電気的性質におけるこの変化はガスセンシング応答の調整に移行し,より優れた特異的型ガスの(酸化または還元)のために行なうこと同じ材料(In_2O_3)に基づくガスセンサを調整し実現した。本研究で達成された最高応答は還元性ガス(50ppmC_2H_5OH,R_air/R_gas)の酸化性ガス(5ppm NO_2,R_gas/R_air)と929の176に達した。,ガスセンサは同じ材料とターゲットガスの特定のタイプのために最適化した堆積条件の簡単な制御を介してできることを実証した。高reproduciblilityと感度と共に,これは更なる小型化と大量生産のための大きな可能性を持つGLADによるナノ柱状薄膜ベースのガスセンサを,IoT時代に適している。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 空隙率 ,  大量生産 ,  ナノ構造 ,  *ガスセンサ ,  酸化 ,  電子ビーム蒸着 ,  薄膜 ,  *最適化 ,  還元性 ,  *電気的性質 ,  堆積速度 ,  酸化インジウム
準シソーラス用語： *ナノコラム ,  酸素空格子点 ,  *柱状構造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 酸化インジウム ,  ガスセンサ ,  視射角蒸着 ,  ナノ柱状薄膜 ,  物事のインターネット

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： ガスセンサ ,  最適化 ,  電気的性質 ,  柱状構造 ,  汎用