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J-GLOBAL ID:201702264091738545   整理番号:17A0504527

静電スプレー熱分解技術(ESP)による酸化コバルト(Co3O4)薄膜の合成

Synthesis of cobalt oxide (Co3O4) thin films by electrostatic spray pyrolysis technique (ESP)
著者 (4件):
資料名:
巻: 28  号:ページ: 1951-1957  発行年: 2017年01月 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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酸化コバルト薄膜を静電スプレー熱分解でガラス基板にデポジットし,薄膜の構造と光学的性質に与えるデポジット時の印加電界の効果を調べた。構造と光学的性質は,電界を加えると液滴サイズが小さくなるために改善される。電界を加えることによって,結晶の粒径は電界の無い12.45nmから85.31nmに大きくなる。高電界で成長させたCo3O4膜は均一な反応と結晶性の改善で平滑な表面となり,電界を加えない膜と比べてピンホールやクラックが無い。EDX解析から,薄膜中のCo/Oの原子比は電界で増加し,10kVで0.65になって膜のストイキオメトリが良くなる。光吸収スペクトルから,電界なしで直接および間接バンドギャップエネルギーはそれぞれ1.84と1.5eVであり,電界ありでは1.8と1.4eVである。
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分類 (1件):
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固体デバイス材料 
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