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J-GLOBAL ID：201702264200692663   整理番号：17A0154409

AlGaN/GaNヘテロ構造の電気化学的リセス加工における反応キャリア供給過程の影響

著者 (3件)： 植村圭佑 (北大 量集セ) ,  熊崎祐介 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 量集セ)
資料名： 応用物理学会北海道支部/日本光学会北海道支部合同学術講演会講演予稿集  (応用物理学会北海道支部学術講演会・日本光学会北海道支部講演予稿集)
巻： 52nd-13th  ページ： 7  発行年： 2017年01月07日 
JST資料番号： L5918A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *アルミニウム化合物 ,  *窒化ガリウム ,  素子構造 ,  キャリア移動度 ,  *エッチング ,  ゲート【半導体】 ,  ボルタンメトリー ,  *電圧依存性 ,  *光照射 ,  波長依存性 ,  整流 ,  固液界面 ,  アノード酸化 ,  局所性 ,  電子顕微鏡観察 ,  光電気化学 ,  *窒化アルミニウムガリウム ,  ヘテロ構造 ,  リセス構造 ,  光電気化学エッチング ,  線形掃引ボルタンメトリー ,  *窒化アルミニウムガリウム/窒化ガリウム ,  原子間力顕微鏡法 ,  走査電子顕微鏡法
準シソーラス用語： *AlGaN/GaN ,  原子間力顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡観察

分類 (2件)： 電極過程  (CB07040U) ,  光化学反応  (CB08020F)

タイトルに関連する用語 (6件)： AlGaN ,  GaN ,  ヘテロ構造 ,  電気化学 ,  キャリア ,  過程