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J-GLOBAL ID：201702264473427550   整理番号：17A1269578

マイクロCMMのための表面走査接触プローブの開発【Powered by NICT】

Development of a surface scanning touch probe for micro-CMM

著者 (2件)： Chu Chih-Liang (Department of Mechanical Engineering, Southern Taiwan University of Science and Technology, Tainan, Taiwan) ,  Chen Hung-Chi (Department of Mechanical Engineering, Southern Taiwan University of Science and Technology, Tainan, Taiwan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICASI  ページ： 1942-1945  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロCMMのための低接触力による表面走査接触プローブを提案した。プローブの変位は2自由度機構円形フレーム,タングステン針と塩基に固定板ばねから成るにより検出した。触針の設計は,硬い円形フレーム,板ばねに固定の中心に搭載されている一方,Z軸変位誤差を阻害する板ばねの中心に設置されている生センター。プローブが物体を触れると,XYの角変位を引き起こしたのみだった。,2自由度の特性を達成することができた。光路の設計では,コリメートしたLDを光源として使用し,2次元位置センサ検出器はセンシング成分として採用した。両者は前述の機構に結合し,回転機構と統合される。AC軸サーボモータは回転機構の駆動因であることを用いた。さらに,回転機構モータドライバを持つ導波要素として用いた軸受。は複雑な表面走査測定を達成するためにマイクロCMMに設置することができた。最後に,実験試験はプローブの測定範囲は±X及びY方向に1mm±1mmであることを示し,測定標準偏差は55nmであり,プロービング力は0.11mm小さかった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 位置センサ ,  自由度 ,  軸受 ,  *走査 ,  検出器 ,  タングステン ,  標準偏差 ,  光源 ,  *プローブ ,  板ばね ,  二次元 ,  サーボモータ
準シソーラス用語： プロービング ,  触針 ,  接触力 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： CMM ,  走査 ,  プローブ ,  開発