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J-GLOBAL ID：201702264589839673   整理番号：17A1355442

スパッタしたFeCoBベース軟磁性多層膜の構造および強磁性共鳴研究【Powered by NICT】

Structural and ferromagnetic resonance study of sputtered FeCoB-based soft magnetic multilayers

著者 (12件)： Falub C. (Evatec AG, Truebbach, Switzerland) ,  Rohrmann H. (Evatec AG, Truebbach, Switzerland) ,  Hida R. (CEA-LETI/Minatec, Grenoble, France) ,  Michel J. (CEA-LETI/Minatec, Grenoble, France) ,  Meduna M. (Department of Condensed Matter Physics, Masaryk University, Brno, Czech Republic) ,  Zweck J. (Institute of Experimental and Applied Physics, University of Regensburg, Germany) ,  Morin C. (CEA-LETI/Minatec, Grenoble, France) ,  Sibuet H. (CEA-LETI/Minatec, Grenoble, France) ,  Marioni M.A. (Nanoscale Materials Science, Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology, Duebendorf, Switzerland) ,  Richter J.H. (Evatec AG, Truebbach, Switzerland) ,  Bless M. (Evatec AG, Truebbach, Switzerland) ,  Padrun M. (Evatec AG, Truebbach, Switzerland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： INTERMAG  ページ： 1-2  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大きな飽和磁化(例えば~0.8~2T)と低ヒステリシス損失の観点から,NiFe,FeCoBとCoTaZr,シリコン相補型金属酸化膜半導体(Si CMOS)技術と統合したナノ結晶および非晶質合金を基とする軟磁性層は,現在,GHz周波数応用の可能性のために大きな注目を受ける,マルチコアプロセッサのためのオンチップ電力管理,モバイル機器のためのRF回路,および低消費電力磁気センサ[1 4]。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *強磁性共鳴 ,  ナノ結晶 ,  電力管理 ,  飽和磁化 ,  磁気センサ ,  非晶質合金 ,  *多層膜 ,  ヒステリシス損 ,  周波数 ,  CMOS
準シソーラス用語： 高周波回路 ,  モバイルデバイス ,  オンチップ ,  マルチコアプロセッサ ,  *軟磁性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： ディジタル計算機方式一般  (JC02010O) ,  オペレーティングシステム  (JD03020J)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  軟磁性 ,  多層膜 ,  強磁性共鳴 ,  研究