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J-GLOBAL ID：201702264722351507   整理番号：17A1269164

ループチャネル型小型ホールによる精密空中浮遊表【Powered by NICT】

A precision air floating table with the miniature holes with loop channels type

著者 (5件)： Chang Chih-Chieh (Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.)) ,  Lin Cheng-Yi (Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.)) ,  Yang Zheng-Wei (Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.)) ,  Lien Chi-Hsiang (Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.)) ,  Guu Yunn-Horng (Department of Mechanical Engineering, National United University, No. 2, Lienda Rd., Miaoli 360, Taiwan (R.O.C.))
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICASI  ページ： 380-381  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ループチャンネル型内の小型孔を用いた精密空中浮遊テーブルを開発した。精密空中浮遊テーブルの性能を調べ,浮遊高さとガラス基板の安定性を含み,プラットフォームパラメータ(例えば,直径,入力空気圧,取入口の数および空気流量など)の観点から空中浮遊テーブルの特性を確立した。その結果,空中浮遊テーブルの高さは大きな空気圧力を適用して,摂取量のより大きな直径を作製する,または摂取のより大きな数を用いて増加した。このようなテーブルの高さの範囲は7μm331μmした約12msから17msを用いた到着定常状態と制御しかし,利点空中浮遊テーブル法を正確に制御,迅速応答時間を提供し,ループチャネル型小型バイアホール空気の少量に作用する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 風量 ,  バイアホール ,  *浮遊 ,  空気 ,  応答時間
準シソーラス用語： 定常状態 ,  空気圧 ,  ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 用水の物理的処理  (SC02030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： ループ ,  チャネル ,  ホール ,  浮遊