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J-GLOBAL ID：201702264753331220   整理番号：17A1386174

窒化ホウ素ナノシートのプラズマ表面官能化【Powered by NICT】

Plasma surface functionalization of boron nitride nano-sheets

著者 (8件)： Achour H. (Institute of Condensed Matter Physics, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), CH-1015 Lausanne, Switzerland) ,  Achour A. (National Institute of Scientific Research, 1650 Bd. Lionel-Boulet, Varennes, QC J3X1P7, Canada) ,  Solaymani S. (Department of Physics, Science and Research Branch, Islamic Azad University, Tehran, Iran) ,  Islam M. (Center of Excellence for Research in Engineering Materials (CEREM), Advanced Manufacturing Institute, King Saud University, P.O. Box 800, Riyadh 11421, Saudi Arabia) ,  Vizireanu S. (National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, Magurele, PO Box MG-16, Bucharest 077125, Romania) ,  Arman A. (Vacuum Technology Group, Academic Center for Education, Culture & Research (ACECR), Sharif University of Technology Branch, Tehran, Iran) ,  Ahmadpourian A. (Young Researchers and Elite Club, Arak Branch, Islamic Azad University, Arak, Iran) ,  Dinescu G. (National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, Magurele, PO Box MG-16, Bucharest 077125, Romania)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 77  ページ： 110-115  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン基板上では,相互接続された六方晶窒化ホウ素ナノ層から成る窒化ホウ素ナノシート(BNNS)は,その粗さのマイクロメータスケールとナノメータースケールでは1200°Cでの化学蒸着法により作製した。BNNSはアンモニアまたは窒素または酸素を混合したアルゴンプラズマ中で官能化した。試料をX線光電子分光法と顕微Raman分光法を用いたプラズマ処理後の表面化学と構造変化を調べるためにそれぞれ特性化した。BNNSのプラズマ処理により,表面特性の顕著な変化がSEMおよびTEM検査時に認められなかったが,しかし,酸素官能基はプラズマのタイプに依存して種々の量で組み込まれていることが分かった。未処理BNNSと比較して,プラズマ官能化処理はBNNSは疎水性にした。,水接触角測定から測定されたように,ナノ構造の濡れ性はプラズマ処理後の表面の化学的変化を参照して考察した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *プラズマ ,  X線光電子分光法 ,  濡れ ,  顕微Raman分光法 ,  *窒化ホウ素 ,  接触角 ,  酸素 ,  プラズマ処理 ,  化学蒸着 ,  *ナノシート ,  表面性状 ,  *官能化 ,  アンモニア
準シソーラス用語： 官能基 ,  *表面官能化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 窒化ほう素 ,  Nanosheets ,  XPS ,  接触角 ,  プラズマ処理

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 窒化ホウ素 ,  ナノシート ,  プラズマ ,  表面官能化