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J-GLOBAL ID：201702264933782250   整理番号：17A1622968

ErドープZnO薄膜における1540nmでの単一モードチャネル導波路【Powered by NICT】

Single-mode channel waveguide at 1540nm in Er-doped ZnO thin film

著者 (3件)： Fan Ranran (School of Information Science and Engineering, Shandong University, Jinan 250100, China) ,  Lu Fei (School of Information Science and Engineering, Shandong University, Jinan 250100, China) ,  Li Kaikai (School of Information Science and Engineering, Shandong University, Jinan 250100, China)
資料名： Journal of Luminescence  (Journal of Luminescence)
巻： 192  ページ： 410-413  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0731A  ISSN： 0022-2313  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ErをドープしたZnO薄膜を,高周波マグネトロンスパッタリング技術により作製した。Er:ZnO膜は優れた単一モード特性を有する優れた膜品質を有することを見出している。膜は532nmレーザによって刺激されると,1540nmでの一つの導波路モードが励起できる。平面導波路の横幅を限定することにより,1540nmで単一モードチャネル導波路を集束イオンビームエッチングにより作製した。この種の導波路は,光通信における単一モードおよび低損失の要求,将来の光設計のための選択を満たしている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 品質 ,  *エルビウム ,  イオンエッチング ,  *酸化亜鉛 ,  レーザ ,  光通信 ,  *導波路 ,  *薄膜 ,  *単一モード ,  *ドーピング ,  平面導波路 ,  集束
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  *チャネル導波路 ,  *ZnOフィルム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  エルビウム ,  ZnO ,  ルミネセンス ,  導波路

分類 (3件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  有機化合物のルミネセンス  (BM08094A) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： Er ,  ドープ ,  ZnO薄膜 ,  単一モード ,  チャネル導波路