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J-GLOBAL ID：201702265534792520   整理番号：17A1545722

スプレー熱分解したSnO_2薄膜の特性評価とNO_2ガス感知特性【Powered by NICT】

Characterization and NO₂ gas sensing properties of spray pyrolyzed SnO₂ thin films

著者 (6件)： Kamble Dilip L. (Solid State Physics Laboratory, Department of Physics, Yashvantrao Chavan Institute of Science, Satara, Maharashtra, 415001, India) ,  Kamble Dilip L. (Department of Physics, Bhogawati Mahavidyalaya, Kurukali, Taluka-Karveer, District-Kolhapur, Maharashtra, 416207, India) ,  Harale Namdev S. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur, Maharashtra, 416004, India) ,  Patil Vithoba L. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur, Maharashtra, 416004, India) ,  Patil Pramod S. (Thin Film Materials Laboratory, Department of Physics, Shivaji University, Kolhapur, Maharashtra, 416004, India) ,  Kadam Laxman D. (Solid State Physics Laboratory, Department of Physics, Yashvantrao Chavan Institute of Science, Satara, Maharashtra, 415001, India)
資料名： Journal of Analytical and Applied Pyrolysis  (Journal of Analytical and Applied Pyrolysis)
巻： 127  ページ： 38-46  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0809A  ISSN： 0165-2370  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ結晶酸化スズ(SnO_2)薄膜をNO_2ガス検出のための噴霧熱分解法による溶液の前駆体濃度を変えて合成した。ナノ結晶SnO_2膜の構造,形態,光学および電気特性をXRD,SEM,UV-可視および二プローブ抵抗率測定装置を用いて研究した。XRD分析はSnO_2薄膜正方晶ルチル型構造を示した。XRD分析から結晶サイズおよび転位密度は回折ピークの半値全幅(FWHM)を考慮して決定した。結晶サイズおよび転位密度は,それぞれ,4.796~nmの11.563nmおよび7.484×10~15/m~2まで変化する43.592×10~15/m~2したが,光学バンドギャップエネルギーは3.40eV~4.06eVの範囲であることが分かった。ガスセンシング特性は,地場建設ガスセンシングユニットを用いて研究した。40ppmの150~°C最適操作温度でNO_2ガスのガス応答は556であることが分かり,回収率,及び応答時間48s,224sおよび100s46sすることである。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *キャラクタリゼーション ,  正方晶系 ,  電気抵抗率 ,  前駆体 ,  *薄膜 ,  FWHM ,  ナノ結晶 ,  応答時間 ,  電気特性 ,  光学ギャップ ,  X線回折 ,  酸化スズ ,  転位密度
準シソーラス用語： 噴霧熱分解法 ,  *スプレー熱分解 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： SnO_2 ,  薄膜 ,  噴霧熱分解法 ,  NO_2ガスセンサ

分類 (1件)： 分解反応  (CF02080P)

タイトルに関連する用語 (4件)： スプレー熱分解 ,  薄膜 ,  特性評価 ,  ガス感知