文献

J-GLOBAL ID：201702265618321432   整理番号：17A0763607

低温プラズマ暴露によるアルカリハライド表面のナノ構造化

Nanostructuring of an alkali halide surface by low temperature plasma exposure

著者 (9件)： Hinaut Antoine (Department of Physics, University of Basel, Klingelbergstrasse 82, 4056 Basel, Switzerland. [e-mail] [e-mail]) ,  Eren Baran ,  Steiner Roland ,  Freund Sara ,  Joehr Res ,  Glatzel Thilo ,  Marot Laurent ,  Meyer Ernst ,  Kawai Shigeki
資料名： Physical Chemistry Chemical Physics  (Physical Chemistry Chemical Physics)
巻： 19  号： 24  ページ： 16251-16256  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0271C  ISSN： 1463-9076  CODEN： PPCPFQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケールでの絶縁表面のテンプレート化は,基板からの吸着種の電子的な分離が必要な分子またはナノ粒子の吸着を含む用途にとって興味深い可能性である。本研究では,低温プラズマ曝露との組み合わせを用いてナノスケールでアルカリハライド表面を構造化する方法を提示し,表面を原子間力顕微鏡で特性化した。著者らは,ナノ構造化が,暴露の持続時間,プラズマガスの原子質量,およびその後の段階的なアニーリングプロセスによって制御できることを見出した。電子または高エネルギー(数keV)のイオン照射を用いた以前の研究とは対照的に,中程度の粒子エネルギー(10~15eVのAr⁺またはHe⁺イオン)を用いる本方法により,ナノメートルの長さスケール,単一原子空格子点の微細なナノ構造化をもたらした。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： *アルカリ金属ハロゲン化物 ,  *ナノ構造 ,  *プラズマ曝露 ,  焼なまし ,  電子照射 ,  イオン照射 ,  イオン ,  ヘリウム ,  アルゴンビーム ,  空格子点 ,  原子間力顕微鏡 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： アニーリング ,  *アルカリハライド ,  ナノスケール ,  プラズマ照射 ,  ヘリウムイオン ,  *低温プラズマ

分類 (3件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 低温プラズマ ,  暴露 ,  アルカリハライド ,  ナノ構造