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J-GLOBAL ID：201702265917950688   整理番号：17A0932990

鉛非含有BaZr_0.2Ti_0.8O₃薄膜コンデンサの高エネルギー貯蔵密度,優れた熱安定性,および高サイクル耐久性

Large Energy Density, Excellent Thermal Stability, and High Cycling Endurance of Lead-Free BaZr_0.2Ti_0.8O₃ Film Capacitors

著者 (10件)： SUN Zixiong (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  MA Chunrui (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  WANG Xi (Handan Coll., Handan, CHN) ,  LIU Ming (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  LU Lu (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  WU Ming (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  LOU Xiaojie (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  WANG Hong (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  JIA Chun-Lin (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  JIA Chun-Lin (Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 20  ページ： 17096-17101  発行年： 2017年05月24日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： BaCO₃,ZrO₂,TiO₂粉体の固相反応により調製した化学量論的BaZr_0.2Ti_0.8O₃(BZT)セラミクスを作成した。それを単結晶SrTiO₃(STO)およびNbドープSrTiO₃(Nb:STO)(001)上に0.2mbarAr/O₂(1/1)雰囲気下850°Cでラジオ周波数マグネトロンスパッタリングしてBZT薄膜を成長させ,850°Cで15分アニーリング後,HRXRD,STEMにより結晶特質,エピタクシーを調べた。また,BZT薄膜上にPt電極を蒸着し,周波数依存性誘電率および誘電損失並びにP-Eループを測定した。このBZTコンデンサは室温でのエネルギー貯蔵密度(ESD)30.4J/cm³,エネルギー効率81.7%の高い値を示し,また,室温から125°Cでの10⁶充放電サイクルによるESDの減少は11%-18%で熱およびサイクル安定性が高く,他のBaTIO₃やPbをベース電力コンデンサに比べ優れた性能を示した。

シソーラス用語： ジルコニウム酸塩 ,  チタン酸塩 ,  バリウム化合物 ,  *薄膜コンデンサ ,  *エネルギー貯蔵 ,  *熱安定性 ,  充放電サイクル ,  耐久性 ,  酸化ジルコニウム ,  酸化チタン ,  固相反応 ,  セラミック ,  単結晶 ,  チタン酸ストロンチウム ,  ニオブ ,  ドーピング ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  熱処理 ,  X線回折 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  エピタクシー ,  白金電極 ,  蒸着 ,  誘電率 ,  誘電損失 ,  エネルギー効率 ,  *電力コンデンサ
準シソーラス用語： HRXRD ,  *ジルコン酸チタン酸バリウム ,  ラジオ波マグネトロンスパッタリング ,  結晶の性質 ,  炭酸バリウム

分類 (3件)： 静電機器  (NB10020R) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 鉛 ,  薄膜コンデンサ ,  エネルギー貯蔵 ,  密度 ,  熱安定性 ,  サイクル