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J-GLOBAL ID:201702265924794012   整理番号:17A1399031

狭帯域偏光無依存反射型フィルタリングのための1次元交差格子【Powered by NICT】

1D crossed gratings for narrow band polarization insensitive reflective filtering
著者 (12件):
資料名:
巻: 2017  号: ICTON  ページ: 1-2  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ナノインプリントリソグラフィーにより作製した近赤外における1D交差導波モード共鳴フィルタ(GMRF)の実験的キャラクタリゼーションを提示した。4」直径までサブ波長格子は,そのような技術を用いて作製できることを示した。Fabry-Perotフィルタの性能へのGMRFの性能を比較し,これらの部品の製造不均一性に対する感受性を検討した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 

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