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J-GLOBAL ID：201702266056963811   整理番号：17A1277119

SMA薄膜アクチュエータアレイ上のSU8微小ピンとばねを用いた触覚ディスプレイMEMSデバイス【Powered by NICT】

Tactile display MEMS device with SU8 micro-pin and spring on SMA film actuator array

著者 (6件)： Mineta Takashi (Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University, Yamagata, Japan) ,  Yanatori Hiroshi (Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University, Yamagata, Japan) ,  Hiyoshi Kenta (Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University, Yamagata, Japan) ,  Tsuji Kazuki (Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University, Yamagata, Japan) ,  Ono Yasuhiro (Advanced Development Dept., R&D Center, Tokai Rika CO. LTD, Aichi, Japan) ,  Abe Konomu (Advanced Development Dept., R&D Center, Tokai Rika CO. LTD, Aichi, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 2031-2034  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： は5×5アレイMEMS平面触覚ディスプレイ装置(1mmピッチ)はバイアスばね,マイクロピン,およびキャップアレイのSMA厚膜アクチュエータアレイとフォトリソグラフィーSU8マイクロメカニズムを提案した。静的運動におけるSMAアクチュエータと組合わせた時,SU8バイアスばねは触覚ディスプレイは20μmの変位と5mNの力を発生させることができるように設計された。は50%のデューティ比とパルス電圧により誘起された時に触覚ディスプレイの振幅は,増強した駆動周波数とともに減少した。しかし,デバイスは低デューティ比の30Hzで,ヒト皮膚への振動刺激に十分であり,10μmよりも大きな振幅を生成することができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ヒト ,  バイアス ,  *薄膜 ,  厚膜 ,  *MEMS ,  フォトリソグラフィー ,  周波数 ,  *アクチュエータ
準シソーラス用語： 振動刺激 ,  パルス電圧 ,  デューティサイクル ,  *触覚ディスプレイ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 人間機械系  (IB03000G)

タイトルに関連する用語 (8件)： SMA ,  薄膜 ,  アクチュエータ ,  アレイ ,  微小 ,  ばね ,  触覚ディスプレイ ,  MEMSデバイス