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J-GLOBAL ID：201702266235118878   整理番号：17A0969100

Joule加熱効果を考慮した垂直マイクロプローブの有限要素解析【Powered by NICT】

Finite element analysis of vertical micro-probe considering Joule-heating effect

著者 (6件)： Jung Hyun-Woo (Korea University, Department of Mechanical Engineering, 145, Anam-ro, Sungbuk-Ku, Seoul 02841, Republic of Korea) ,  Kim Seung-Jae (Korea University, Department of Mechanical Engineering, 145, Anam-ro, Sungbuk-Ku, Seoul 02841, Republic of Korea) ,  Kim Yun-Jae (Korea University, Department of Mechanical Engineering, 145, Anam-ro, Sungbuk-Ku, Seoul 02841, Republic of Korea) ,  Kim Jung-Yup (Korea Institute of Machinery & Materials, Department of Nano Mechanics, 156, Gajeongbuk-Ro, Yuseong-Gu, Daejeon 34103, Republic of Korea) ,  Lee Joo-Yul (Korea Institute of Materials Science, Department of Surface Technology, 66, Sangnam-dong, Seongsan-Gu, Changwon 51508, Republic of Korea) ,  Park Jun-Hyub (Tongmyong University, Department of Mechatronics Engineering, 428, Sinseo-ro, Nam-gu, Busan 48520, Republic of Korea)
資料名： International Journal of Fatigue  (International Journal of Fatigue)
巻： 101  号： P1  ページ： 96-105  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0802B  ISSN： 0142-1123  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直プローブの信頼できる設計のためのJoule加熱を考慮した構造解析法について述べた。本研究では,引張試験は,新しい材料の機械的性質,ニッケル 2%ほう素を得るために実施した。特に,Joule加熱効果を考慮したプローブの有限要素解析は,内部応力と接触力を解析した。有限要素解析の結果を検証するために,製造されたプローブを試験した。新素材,ニッケル 2%ホウ素は弾性係数の95GPa,0.2%耐力2261MPaと引張強さの2414MPaを有していた。最初に,FE解析の精度を有限要素解析とプローブ試験の間の印加電流無し75μmにプローブを圧縮するときの接触力を越えるドライブ(変位)曲線を比較することによって検証した。Joule加熱によるプローブの温度は電流の増加と共に増加し,結果として接触力と内部応力はオーバードライブの75μmでの熱膨張により増加した。有限要素解析の結果は実験の結果と一致するが,0.36Åにわたる結果の間にかなりの誤差であるFE解析から,それは印加電流のとき,最大応力は360MPaであり,適用した電流が0.36Aのとき,最大応力は409MPaであるとみることができる。この結果から,印加電流は疲れ寿命の低下を引き起こし,0.36Aの電流を適用した場合のNiのCurie温度が達成されたことが分かった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 疲れ寿命 ,  弾性係数 ,  *プローブ ,  内部応力 ,  *抵抗加熱 ,  ニッケル ,  降伏強さ ,  熱膨張 ,  *マイクロプローブ ,  引張強さ ,  引張試験 ,  電流
準シソーラス用語： 印加電圧 ,  接触力 ,  *有限要素解析 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 電気めっきニッケルほう素 ,  有限要素解析 ,  Joule加熱 ,  プローブカード ,  薄膜引張試験

分類 (1件)： 金属材料  (HC05020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： Joule加熱 ,  垂直 ,  マイクロプローブ ,  有限要素解析