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J-GLOBAL ID：201702266356359960   整理番号：17A1501889

MWCVDおよびECRCVDにより堆積したSiC表面層のナノ構造と微細構造【Powered by NICT】

The nanostructure and microstructure of SiC surface layers deposited by MWCVD and ECRCVD

著者 (3件)： Dul K. (AGH University of Science and Technology, Al. Mickiewicza 30, 30-059 Krakow, Poland) ,  Jonas S. (AGH University of Science and Technology, Al. Mickiewicza 30, 30-059 Krakow, Poland) ,  Handke B. (AGH University of Science and Technology, Al. Mickiewicza 30, 30-059 Krakow, Poland)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 425  ページ： 965-971  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査電子顕微鏡(SEM)と原子間力顕微鏡(A FM)を用いて,マイクロ波化学蒸着(MWCVD)-S1,S2層と電子サイクロトロン共鳴化学蒸着(ECRCVD)層S3,S4によるex-situ Si(100)上に蒸着したSiC層の表面トポグラフィーを調べるために用い,シラン,メタンおよび水素を使用している。ナノ構造と微細構造に及ぼす試料温度とガス流の影響を研究した。ナノ構造はディジタル画像処理に基づく三次元表面粗さ分析,表面特徴の異なる側面を定量化するためのツールを与えるによって記述された。表面トポグラフィーを記述するために用いた13種類の数値パラメータを用いた。層S1,S2,およびS4の微細構造の走査電子顕微鏡像(SEM)であったが,層S3は完全に異なる類似していた;結晶粒のような出現する。それにもかかわらず,粒界構造はA FM像には存在しないことが分かった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  蒸着 ,  結晶粒 ,  *微細構造 ,  気体流 ,  *炭化ケイ素 ,  シラン ,  走査電子顕微鏡 ,  化学蒸着 ,  *表層 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： 粒界構造 ,  表面トポグラフィー ,  電子サイクロトロン共鳴 ,  マイクロ波化学 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 堆積 ,  SiC ,  表面層 ,  ナノ構造 ,  微細構造