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J-GLOBAL ID:201702266362243126   整理番号:17A0148632

差分界境界要素法による10000のランダムな溝を有する回折格子の効率的解析

Efficient Analysis of Diffraction Grating with 10000 Random Grooves by Difference-Field Boundary Element Method
著者 (3件):
資料名:
巻: E100.C  号:ページ: 27-36(J-STAGE)  発行年: 2017年 
JST資料番号: U0468A  ISSN: 1745-1353  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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実サイズの回折格子における溝のランダム性と回折効率との関係を数値的調査によって明らかにした。本研究で扱った回折格子はおよそ10000の溝を有している。照明波長が600nmの時,格子全体のサイズは16.2mmになる。差分界境界要素法(DFBEM)を使用してシミュレーションをおこなった。DFBEMは,格子サイズとは独立に,ベクトル場を少量のメモリリソースで処理する。最初にかなり大きなサイズの構造へのDFBEMの適用性について述べた。規則的に配列された溝とランダムな浅い溝構造とをDFBEMで計算し,標準的BEMとスカラ波近似で得られた結果と比較した。最後にランダム性の度合と回折効率との関係を,2つの直交直線偏光に関して示した。この関係は,溝構造の製造誤差に関する許容範囲の決定や回折波の放射照度の計測による構造ランダム性の測定のための情報を提供してくれる。(翻訳著者抄録)
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光デバイス一般 
引用文献 (31件):
  • [1] R. Magnusson and T.K. Gaylord, “Diffraction efficiencies of thin phase gratings with arbitrary grating shape,” J. Opt. Soc. Am., vol.68, no.6, pp.806-809, June 1978.
  • [2] Y. Orihara, W. Klaus, M. Fujino, and K. Kodate, “Optimization and application of hybrid-level binary zone plates,” Appl. Opt., vol.40, no.32 pp.5877-5885, Nov. 2001.
  • [3] L.M. Sanchez-Brea and F.J. Torcal-Milla, “Near-field diffraction of gratings with surface defects,” Appl. Opt., vol.49, no.11 pp.2190-2197, April 2010.
  • [4] S.D. Mellin and G.P. Nordin, “Limits of scalar diffraction theory and an iterative angular spectrum algorithm for finite aperture diffractive optical element design,” Opt. Express, vol.8, no.13, pp.705-722, June 2001.
  • [5] D. Ruan, L. Zhu, X. Jing, Y. Tian, L. Wang, and S. Jin, “Validity of scalar diffraction theory and effective medium theory for analysis of a blazed grating microstructure at oblique incidence,” Appl. Opt., vol.53, no.11, pp.2357-2365, April 2014.
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