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J-GLOBAL ID：201702266464429813   整理番号：17A0578615

ゾル-ゲル法によって準備されたランタノイド添加La_1/3Nb_0.8Ta_0.2O₃薄膜の構造と機械的性質

Structural and mechanical properties of lanthanide doped La_1/3Nb_0.8Ta_0.2O₃ thin films prepared by sol-gel method

著者 (8件)： BRUNCKOVA Helena (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sci., Kosice, SVK) ,  MEDVECKY Lubomir (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sci., Kosice, SVK) ,  KOVALCIKOVA Alexandra (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sci., Kosice, SVK) ,  FIDES Martin (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sci., Kosice, SVK) ,  MUDRA Erika (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sci., Kosice, SVK) ,  DURISIN Juraj (Inst. of Materials Res., Slovak Acad. of Sci., Kosice, SVK) ,  SKVARLA Jiri (Technical Univ. Kosice, Kosice, SVK) ,  KANUCHOVA Maria (Technical Univ. Kosice, Kosice, SVK)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 26  号： 4  ページ： 045009,1-12  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学溶液堆積技術によって高分子のNbとTaの酒石酸塩溶液から新しいEuとNbを添加した透明なLa_1/3Nb_0.8Ta_0.2O₃(LNT)薄膜を生成する方法を提示した。X線光電子分光法によって膜の酒石酸塩ゾル-ゲル前駆体を解析した。Pt/SiO₂/Si基材上に堆積し,1100°Cで焼きなましした厚さ150nmのEUまたはNd添加LNT薄膜の構造と機械的性質を示した。原子間力顕微鏡技術とともに従来と連続剛性測定によるナノインデンテーションによってナノ硬さと弾性係数を測定した。その結果,LNT膜の基材へのEUまたはNdの添加は,純粋LNT膜と比較して弾性係数と硬さの増加を示した。

シソーラス用語： ランタノイド ,  X線光電子分光法 ,  原子間力顕微鏡 ,  ゾル-ゲル法 ,  *薄膜 ,  *機械的性質 ,  溶液成長 ,  *微細構造 ,  ナノインデンテーション ,  微小硬さ ,  弾性係数
準シソーラス用語： ナノ硬さ ,  化学溶液堆積法

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (4件)： ゾル-ゲル法 ,  ランタノイド ,  薄膜 ,  機械的性質