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J-GLOBAL ID:201702266596459685   整理番号:17A0801461

可視光通信用GaNベースフリップチップ並列マイクロLEDアレイ

GaN-based flip-chip parallel micro LED array for visible light communication
著者 (6件):
資料名:
巻: 10244  ページ: 102441Y.1-102441Y.7  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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サファイア/n-GaN/多重量子井戸アレイ/p-GaN/Siの積層構造から成る可視光通信用GaNベースフリップチップ(FC)並列マイクロLEDアレイを作製した。製造工程は一般的な広帯域LEDと同様に単純であり,FC構造は電流広がり,熱散逸及び電流密度耐性を改善し,7900A/cm2の注入電流密度と約227MHzの変調帯域幅及び30mW超の光電力を実現した。RC時定数とキャリア寿命の並列マイクロLEDアレイ変調帯域幅に及ぼす影響も検討した。
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