Contreras Daniel S. について
Berkeley Sensor and Actuator Center, University of California, Berkeley, Berkeley, California, 94720 について
Pister Kristofer S. J. について
Berkeley Sensor and Actuator Center, University of California, Berkeley, Berkeley, California, 94720 について
IEEE Conference Proceedings について
キャラクタリゼーション について
MEMS について
アクチュエータ について
静電気 について
マイクロロボット について
ケイ素 について
電動機 について
光学的測定 について
閉鎖音 について
シャットル について
動作周波数 について
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