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J-GLOBAL ID：201702266679028859   整理番号：17A1357616

シリコンマイクロロボットのための静電気尺取虫型電動機の動力学【Powered by NICT】

Dynamics of electrostatic inchworm motors for silicon microrobots

著者 (2件)： Contreras Daniel S. (Berkeley Sensor and Actuator Center, University of California, Berkeley, Berkeley, California, 94720) ,  Pister Kristofer S. J. (Berkeley Sensor and Actuator Center, University of California, Berkeley, Berkeley, California, 94720)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MARSS  ページ： 1-6  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)ベースのマイクロロボットへの応用のための静電アクチュエータの速度を特性化に関する研究を提示した。アクチュエータはシャクトリムシモータ構成で動作する静電ギャップ巻き締め機に基づいており,シリコンで作製した。測定は,この素子のギャップ閉鎖音に及ぼす側壁接触を用いて求めた。静電ギャップ巻き締め機を57μs内の全サイクルで動作できることを示した,17.5kHzの動作周波数に対応した。モータの類似電気側壁接触測定を用いて,運動シャトルの速度を測定することができる。8kHzでのギャップ閉鎖アクチュエータを動作させることによりインチワームモータシャトルは30mm/s以上の速度に近づき,光学測定を用いて以前報告されているどのような6回以上できた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  MEMS ,  アクチュエータ ,  *静電気 ,  *マイクロロボット ,  *ケイ素 ,  *電動機 ,  光学的測定 ,  閉鎖音
準シソーラス用語： シャットル ,  動作周波数 ,  静電アクチュエータ ,  *シャクトリムシ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  マイクロロボット ,  静電気 ,  尺取虫 ,  電動機 ,  動力学