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J-GLOBAL ID:201702267038176795   整理番号:17A0561645

太陽電池用多結晶シリコン育成時における不純物分布の数値解析と結晶成長実験への適用

著者 (5件):
資料名:
ページ: ROMBUNNO.P02-20  発行年: 2017年 
JST資料番号: N20170434  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
分類
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半導体の結晶成長  ,  半導体の格子欠陥 

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