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J-GLOBAL ID：201702267158893873   整理番号：17A1348904

デュアルステージナノ位置決めシステムのための空間-時間軌道再設計【Powered by NICT】

Spatial-temporal trajectory redesign for dual-stage nanopositioning systems

著者 (4件)： Guo Dejun (Univ. of Utah Robotics Center, Dept. of Mechanical Engineering, Salt Lake City, 84112, USA) ,  Mitrovic Aleksandra (Dept. of Mechanical Engineering, Villanova University, Pennsylvania 19085, USA) ,  Clayton Garrett M. (Dept. of Mechanical Engineering, Villanova University, Pennsylvania 19085, USA) ,  Leang Kam K. (Univ. of Utah Robotics Center, Dept. of Mechanical Engineering, Salt Lake City, 84112, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： AIM  ページ： 712-718  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,速度,範囲と分解能を考慮したdualstageナノ位置決めシステムのための軌道再設計に焦点を当てた。この手法は速度のみを考慮した多くの既存の手法と異なっていた。二段ナノ位置決めシステムは長範囲及び高速動作を達成するためにそれらのユニークな能力のためにますます一般的になっている。しかし,典型的な制御戦略は,二個のアクチュエータの制御努力,いくつかの精密位置決め軌道は達成できないにを分割する時間(周波数)情報に依存している。著者らの以前の研究に基づいて,新しい系統的空間-時間軌道再設計プロセスを提示し,目標軌道を最初の達成可能な位置決め帯域幅に基づいて分割し,達成可能な範囲と位置決め分解能に基づいて空間的に分割した。分割信号は,二段ナノ位置決め装置で追跡することができ,本論文で反転ベースフィードフォワードコントローラが使用されている。軌道再設計プロセスは,各アクチュエータは,その帯域幅と可動域を完全に利用可能にした。シミュレーションと実験結果は,実現可能性を実証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 分解能 ,  アクチュエータ ,  *位置決め ,  帯域幅 ,  高速度 ,  周波数 ,  *再設計 ,  可動域
準シソーラス用語： 精密位置決め ,  制御戦略 ,  *位置決めシステム ,  *ナノポジショニング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 制御工学一般  (IC01000V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 位置決めシステム ,  軌道 ,  再設計