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J-GLOBAL ID：201702267188820859   整理番号：17A1708196

超音波振動法による超硬合金上のフェムト秒レーザ誘起クレータの平滑研磨【Powered by NICT】

Smooth polishing of femtosecond laser induced craters on cemented carbide by ultrasonic vibration method

著者 (4件)： Wang H.P. (School of Mechanical Engineering and Automation, Beihang University, 37 Xueyuan Road, Beijing 100191, PR China) ,  Guan Y.C. (School of Mechanical Engineering and Automation, Beihang University, 37 Xueyuan Road, Beijing 100191, PR China) ,  Guan Y.C. (National Engineering Laboratory of Additive Manufacturing for Large Metallic Components, Beihang University, 37 Xueyuan Road, Beijing 100191, PR China) ,  Zheng H.Y. (Singapore Institute of Manufacturing Technology, 71 Nanyang Drive, 638075, Singapore)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 426  ページ： 399-405  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ照射により誘起された粗い表面の特徴は,マイクロ/ナノスケール特徴を作製するための挑戦してきた。本研究では,超硬合金上にフェムト秒レーザ照射により生成したマイクロクレータの表面品質を改善するために,ハイブリッド超音波振動研磨法を提案した。レーザ起因する粗い表面は,表面上のダイヤモンド粒子の強い衝突効果による超音波振動研磨後に平滑化した。3D形態,SEMおよびA FM分析は,表面形態とトポグラフィーを特性化した。結果は,Raが7.60nmの最小表面粗さは研磨表面上で達成されたことを示した。滑らかな表面をもつマイクロクレータの作製は微小光学部品の大量生産のための成形プロセスに適用可能である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *超音波振動 ,  *超硬合金 ,  *フェムト秒 ,  大量生産 ,  *研磨 ,  レーザ照射 ,  ダイヤモンド ,  三次元 ,  表面性状 ,  *フェムト秒レーザ ,  平滑化 ,  キャラクタリゼーション ,  *クレータ
準シソーラス用語： 表面形態 ,  ナノスケール , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： フェムト秒レーザ ,  超音波振動研磨 ,  超硬 ,  微小クレータ ,  表面トポグラフィー

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超音波振動 ,  超硬合金 ,  フェムト秒レーザ ,  誘起 ,  クレータ ,  研磨