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J-GLOBAL ID：201702267377103605   整理番号：17A1421044

物理蒸着により堆積したCr_xN被覆のトライボロジー特性と腐食抵抗特性に及ぼす蒸着法の影響【Powered by NICT】

Effect of deposition method on tribological performance and corrosion resistance characteristics of Cr_xN coatings deposited by physical vapor deposition

著者 (4件)： Mutyala Kalyan C. (Department of Mechanical Engineering, The University of Akron, Akron, OH 44325, USA) ,  Mutyala Kalyan C. (Timken Engineered Surfaces Laboratories (TESL), The University of Akron, Akron, OH 44325, USA) ,  Ghanbari E. (Department of Chemical & Biomolecular Engineering, The University of Akron, Akron, OH 44325, USA) ,  Doll G.L. (Timken Engineered Surfaces Laboratories (TESL), The University of Akron, Akron, OH 44325, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 636  ページ： 232-239  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Cr_xN薄膜被覆は,その望ましい摩耗と腐食抵抗特性に起因して,技術的に魅力的である。しかし,これらの被覆のトライボロジーと腐食性能は,その材料特性と堆積過程に大きく依存する。電着と無電解クロムに関する環境規制は,電気めっき硬質クロムの代替としてのPVD Cr_xN被覆の開発を動機づけた。本研究では,二種類のPVDプロセスのはグレードAISI-52100鋼試験片:閉磁場非平衡マグネトロンスパッタリング装置(CFUMS)とイオンビーム支援電子ビーム蒸着(IBAD)システムに関するCr_xN被覆を適用するために用いられた。被覆試料のトライボロジー性能は,滑り接触トライボメータにおける境界層潤滑下で評価し,耐食性を電気化学インピーダンス分光法(EIS)及び塩水噴霧(ASTMB117)試験により決定した。CFUMS堆積Cr_xN被覆を,塩水噴霧およびEIS試験の両方で基板に優れた腐食保護を提供したが,IBAD蒸着したCr_xNはトライボロジー試験でCFUMS Cr_xN被覆より優れていた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： スペクトロスコピー ,  防食 ,  *トライボロジー ,  境界層 ,  *耐食性 ,  イオンビーム蒸着 ,  *クロム ,  *腐食 ,  マグネトロンスパッタリング ,  摩耗 ,  鋼 ,  *被覆 ,  電気めっき ,  薄膜 ,  電気化学 ,  電着

著者キーワード (8件)： 物理蒸着 ,  窒化クロム ,  塗料 ,  摩擦 ,  摩耗 ,  腐食 ,  電気化学的インピーダンス分光法 ,  塩水噴霧試験

分類 (3件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  防食  (WB03040M) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 物理蒸着 ,  堆積 ,  トライボロジー特性 ,  腐食 ,  抵抗特性 ,  蒸着