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J-GLOBAL ID：201702267557893902   整理番号：17A0644492

バイアス電流導入法を応用した高周波グロー放電発光分析における深さ方向元素分布測定の立ち上がり特性の改善

著者 (2件)： 坂根賢太 (東北大 金属材料研) ,  我妻和明 (東北大 金属材料研)
資料名： 材料とプロセス(CD-ROM)  (Current Advances in Materials and Processes (CD-ROM))
巻： 30  号： 1  ページ： ROMBUNNO.303  発行年： 2017年03月31日 
JST資料番号： X0994B  ISSN： 1882-8922  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 原子発光分析 ,  *深さ分析 ,  電流 ,  プラズマ ,  時間
準シソーラス用語： グロー放電プラズマ ,  *グロー放電発光分析 ,  *バイアス電流 ,  立上り時間

分類 (1件)： 分光分析  (CC03012W)

引用文献 (4件)：

• R. Payling, D. G. Jones, and A. Bengtson (eds.): Glow Discharge Optical Emission Spectrometry, John Wiley & Sons, Chichester, (1997).
• B. Chapman, Glow Discharge Processes, John Wiley & Sons, New York, (1980).
• K. Wagatsuma, Spectrochim. Acta, 54B (1999) 527-535.
• K. Wagatsuma, Spectrochim. Acta, 55B (2000) 833-838.

タイトルに関連する用語 (7件)： バイアス電流 ,  応用 ,  高周波 ,  グロー放電発光分析 ,  深さ方向 ,  元素分布 ,  立ち上がり特性