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J-GLOBAL ID：201702267949996676   整理番号：17A1563567

セラミック四元ターゲットを用いた直流マグネトロンスパッタCu_2ZnSnS_4薄膜【Powered by NICT】

Direct current magnetron sputtered Cu₂ZnSnS₄ thin films using a ceramic quaternary target

著者 (8件)： Zhu Yan (Faculty of Information Engineering and Automation, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650500, China) ,  Zhu Yan (Faculty of Materials Science and Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China) ,  Chen Yiqi (Faculty of Materials Science and Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China) ,  Shen Tao (Faculty of Information Engineering and Automation, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650500, China) ,  Shen Tao (Faculty of Materials Science and Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China) ,  Yi Jianhong (Faculty of Materials Science and Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China) ,  Gan Guoyou (Faculty of Materials Science and Engineering, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, China) ,  Huang Qiang (Department of Chemical and Biological Engineering, The University of Alabama, Tuscaloosa, AL 35487, USA)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 727  ページ： 1115-1125  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 直流(DC)マグネトロンスパッタリングは,セラミック四元CZTSターゲットからのソーダ石灰ガラス基板上にCu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜を調製した。組成,結晶構造,表面形態と膜の光学的性質に及ぼす直流電力,基板温度および硫化温度の影響を調べた。膜は非晶質結晶CuとSnリッチケステライトCZTS膜は中央値でのスパッタリングから直接得られ,以下であった。膜組成は,200°Cまでの基板温度で相対的に不変であったが,温度が更に増加するとSn含有量の増加とCu含有量の減少が観察された。スパッタリング収率,昇華による原子損失だけでなく,操作条件の影響を用いて,そのような組成変化を説明した。二次相,より均一ではない形態増加と同様にバンドギャップは高いSn含有量をもつこれらのスパッタされた膜で同時に観察された。硫化はスパッタしたCZTS膜の結晶性と光学的性質をさらに改善するために行った。550°Cの最適硫化温度が観察され,膜は純粋なCZTS相,最大吸収係数(>10~4 cm~ 1)と理論的バンドギャップ(1.55 eV)を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  結晶 ,  結晶度 ,  *スズ ,  基板温度 ,  *薄膜 ,  *銅 ,  硫化 ,  第二相 ,  光学的性質 ,  *直流 ,  ソーダ石灰ガラス ,  バンドギャップ
準シソーラス用語： 表面形態 ,  CZTS , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Cu_2ZnSnS_4 ,  DCマグネトロンスパッタリング ,  第四紀標的 ,  薄膜光起電力 ,  硫化

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： セラミック ,  ターゲット ,  直流 ,  マグネトロンスパッタ ,  薄膜