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J-GLOBAL ID：201702267997344959   整理番号：17A1346283

MEMS真空ポンプ【Powered by NICT】

MEMS Vacuum Pumps

著者 (1件)： Grzebyk Tomasz (Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wrocl/aw University of Technology, Wrocl/aw, Poland)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 26  号： 4  ページ： 705-717  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)真空ポンプに関する最初の包括的なレビューである。マイクロスケールデバイスにおける真空のガスと生成のポンピングは文献で議論されている非常にほとんどされている話題である。年間,流体マイクロポンプのみに注目した。近年,状況は変化しているこれらの問題はますます重要になってきた。小型携帯型真空装置と分析機器に大きな興味が存在するが,それは全ての小型真空ポンプを備える必要がある。異なる原理と異なる圧力範囲で動作する真空ポンプの種々のタイプは,これまで小型化:膜,回転,ターボ分子,拡散および収着した。それらの全てについて述べた。最大関心は最近の成果,溶液,および可能な応用にでなく,その限界も議論した。[2016 0213]Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： マイクロポンプ ,  小型化 ,  携帯型 ,  収着 ,  *MEMS ,  真空装置 ,  *真空ポンプ ,  分析機器

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  真空ポンプ